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MX6R半導(dǎo)體檢查顯微鏡(明場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照明、偏光、DIC)

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商品說(shuō)明

MX6R各項(xiàng)操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),Zui大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計(jì),可對(duì)系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場(chǎng)、暗場(chǎng)、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。

寬視場(chǎng)鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒

正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實(shí)際方向相同,物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同,便于觀察與操作。

大行程移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)

采用6寸平平臺(tái)設(shè)計(jì),行程158×158mm,可適用于對(duì)應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測(cè),也可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè)。

高精度物鏡轉(zhuǎn)換器

轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。

高精度物鏡轉(zhuǎn)換器

安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

工業(yè)檢測(cè)級(jí)顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。

其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長(zhǎng)時(shí)間使用也不會(huì)使機(jī)架過(guò)熱。


商品參數(shù)

光學(xué)系統(tǒng)

無(wú)限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng)

觀察方式

明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC

觀察筒

30°傾斜,正像,無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,分光比100:0或0:100

30°傾斜,倒像,無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,三檔分光比0:100;20:80;100:0
5-35°傾角可調(diào),正像,無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,單邊視度調(diào)節(jié):±5屈光度,兩檔分光比100:0或0:100

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm,視度可調(diào),可帶側(cè)微尺

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/23mm,視度可調(diào)
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào)
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/26.5mm,視度可調(diào)
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL15X/16mm

物鏡

無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)消色差金相物鏡5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X、100X

明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X

轉(zhuǎn)換器

5孔內(nèi)傾式明暗場(chǎng)轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

反射式機(jī)架 , 前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm, 微調(diào)精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置.內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) , 帶光亮度設(shè)定暗扭與復(fù)位按扭

透、反射式機(jī)架 , 前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm, 微調(diào)精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置.內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng),5W暖色LED透射光照明系統(tǒng),上下光獨(dú)立可控

載物臺(tái)

6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積445mm×240mm,移動(dòng)范圍:158mm×158mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);玻璃載物臺(tái)板(反射用)

6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積445mm×240mm,反射照明移動(dòng)范圍:158mm×158mm;透射照明移動(dòng)范圍:100×100mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);玻璃載物臺(tái)板(透、反射用)

照明系統(tǒng)

明暗場(chǎng)反射照明器 , 帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場(chǎng)照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像

0.35X/0.5X/0.65X/1X攝像接筒,C型接口,可調(diào)焦

其他

起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ;反射用干涉濾色片組 ;高精度測(cè)微尺 ;DIC 微分干涉組件

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